唐京兆府昭应县(今陕西临潼县治)人，姓马氏，以天宝五年生。幼颖悟，师事大照禪师，随从见其师不空叁藏。不空一见异之曰：我法教，汝实兴之。遂就受叁密四曼之秘奥。后奉代宗奏对法要，為内道场之护持僧，住长安青龙寺东塔院。尔来受德宗顺宗之崇敬，為叁朝之国师，威德高於朝野，四眾被化者多。义明、义圆、辨弘、慧日、义操、惟上、玫臺、操敏、坚通等，皆入其门。日僧空海入唐，亦謁师，受不空所传之密藏焉。年六十寂。着有阿闍梨大曼荼罗灌顶仪轨一卷，金刚界金刚密号一卷等。