定之别名。梵名叁摩鉢底，在定中，身心平等安和谓之等，定能令至此平等位，故名為等至。是唯定而非散。通於有心无心，若有心定，则其心离昏沈与掉举而為平等，谓之等，以定力得至此等，故谓之等至，若无心定，则约定中依身大种平等，而名為等至。外有等持等引之二、见叁昧条。
唯识述记六上曰：
在定定数势力令身心等有安和相。至此等位名為等至。(中略)叁摩鉢底，此云等至。
见等持条。
