Svāhā，又作苏婆訶，娑婆訶，莎缚訶，萨婆訶，率缚訶，娑嚩贺，苏和訶，馺婆訶，馺皤訶，沙訶，娑訶，莎訶等。真言之结句也。

仁王经仪轨下曰：

娑缚贺，此云成就义，亦云吉祥义，亦云圆寂义，亦云息灾增益义，亦云无住义。今依无住义，即是无住涅槃。依此无住涅槃尽未来际，利乐有情，无尽期故。

大日经疏四曰：

末句云莎訶，是惊觉义。以一切如来行菩萨道时同见如是义故，必定狮子吼发诚实言。我要当以此阿字门徧净无尽眾生界，若我此誓不虚者，共有一切眾生诵我诚言，不亏法则，则当如其所愿，皆充满之。我今以随如来叁昧耶教说是真言，唯愿不违本誓，故令我道场具足严净，故言莎訶也。

又曰：

莎訶者，如僧羯磨竟，加忍更可印成句。若我所发诚言必定无谬，唯愿诸佛不越叁昧耶故令所作圆满也。

同九曰：

莎訶是惊觉诸佛令作证明，亦忆念持义。

同十叁曰：

娑訶是警发义也，以此真言警发诸佛，说此明时诸佛即惊发而起，加持行人也。

又曰：

娑嚩訶，娑嚩自也，訶是本也更问。

演密钞六曰：

梵语娑嚩(合二)訶，此云本誓，谓诸佛如来同一大誓故。

同七曰：

莎缚訶，是摄取义。

秘藏记本曰：

娑婆訶，究竟义，圆满义，惊觉义，成就义，散去义。

此五义如其次第表法界体性智等之五智也。究竟之义者，法界体性智也，是為方便究竟之极果故。圆满之义者，大圆镜智也，圆镜圆满其义同故。惊觉之义者，平等性智也，平等性智主修行之德，依叁密之修行，惊觉已成之如来，又惊觉自己本有之菩提心故。成就义者，妙观察智也，妙观察智主成菩提之德故。散去义者，成所作智也，成所作智主入涅槃之德，若入涅槃则佛散失故。见秘藏记钞五。